水导激光加工金刚石铜复合材料去除实验研究

金刚石铜复合材料由热导率最高、热膨胀系数最低的金刚石与延展性好、热导率高的铜复合形成。具备了超高热导率和可调控热膨胀系数，是目前最具前景的热管理材料。然而，该材料中有高硬度金刚石颗粒和高延展性的铜，若使用传统加工易造成刀具磨损和粘附问题，使其在微通道加工中面临严峻挑战。目前，对金刚石铜复合材料的研究主要集中在材料制备及界面热阻方面，针对材料加工的研究较少，为了探究水导激光加工金刚石铜复合材料的去除机理及缺陷产生机理，采用单因素实验法对金刚石铜复合材料进行单道切槽实验，研究了激光峰值功率密度、扫描速度、水射流压力和扫描次数对沟槽表面形貌的影响规律。